美国 XSD340A 紫外辐照计和XSD340A探头组成的测量系统可用于PCB印刷线路板光刻胶工艺,可测量320-475nm光阻剂作用光谱,校准于405nm,光探测器可承受辐照强度范围8e-7至10W/cm2,NIST可溯源ISO17025认证校准报告,保证测量结果精确可靠。
美国 XSD340A 紫外辐照计介绍
Photoresist光阻剂广泛用于PCB印刷电路板行业,通过其使用蚀刻化学品来布置电路连接或印刷电路板迹线。光刻胶也被用于半导体工业,它是用于形成单个半导体器件的微小电路的微图案的光刻生产中的关键步骤。控制光线辐照强度和曝光时间是至关重要的,它可以避免在加工和生产过程中光刻胶的浪费性下曝光或曝光过度。为了保持这些设置,需要具有尽可能接近光阻剂作用光谱的光谱响应的测光表来精确地知道光致抗蚀剂曝光的程度。
光刻胶曝光的加工设备通常非常紧凑并且没有足够的空间来进行辐照度测量。美国International Light致力于提供各种独特的光刻胶仪器来实现这些困难的测量。ILT2400辐照计具有采用可能换分离探头设计,具有8个量级的动态测量范围,测量速度可达100μs,内置可充电电池持续长达8小时,4.3寸触摸屏显示,可横向和纵向观看,以手持价格研究质量,测光表和探测器均带NIST可溯源ISO17025认证校准报告。International Light XSD340A探头测量光谱范围320-475nm,校准于405nm,适用于PCB曝光系统光刻胶工艺、UVA光源强度,可测量8e-7 至10W/cm2曝光辐照强度。
光学International Light XSD系列光阻剂曝光探测器
ILT2400+XSD140A:量程4e-8 to 0.7 W/cm2,响应波段320-475 nm,校准于405nm波长
ILT2400+XSD340A:量程8e-7 to 10 W/cm2,响应波段320-475 nm,校准于405nm波长
ILT2400+XSD140B:量程7e-8 to 1 W/cm2,光谱范围326-401 nm,中心波长365nm
ILT2400+XSD340B:量程3e-6 to 30W/cm2 高强度,测量光谱326-401 nm,校准于365nm