XSD340B 紫外辐照计用于326-401nm波段紫外线辐照度监测,校准于365nm光阻剂作用光谱,精确地知道光致抗蚀剂曝光的程度,可测量高达30W/cm2 高强度,用于PCB印刷电路板光及半导体业。
XSD340B 紫外辐照计介绍
Photoresist光阻剂广泛用于PCB线路板行业,通过其使用蚀刻化学品来布置电路连接或印刷电路板迹线,也被用于半导体工业,它是用于形成单个半导体器件的微小电路的微图案的光刻生产中的关键步骤。Photoresist光刻胶工艺过程控制光线辐照强度和曝光时间至关重要,它可以避免在加工和生产过程中光刻胶的浪费性下曝光或曝光过度。为了保持这些设置,需要具有尽可能接近光阻剂作用光谱的测光表来精确地知道光致抗蚀剂曝光的程度。
美国International Light光学公司致力于提供各种光刻胶仪器来实现曝光辐射强度测量。ILT2400辐照计以手持价格提供研究级质量,采用可分离探头设计,具有8个量级的动态测量范围,测量速度可达100μs,内置可充电电池持续长达8小时,4.3寸触摸屏显示,可横向和纵向查看读数或图形曲线。XSD340B探头响应波段326-401 nm,校准于365nm波长,可测量3e-6 W/cm2至30W/cm2光源辐照强度。ILT测光表和探测器均带NIST可溯源ISO17025认证校准报告。
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