日本东丽toray氧气表MS-500
z多可以同时测量8个点浓度范围从ppm到100均可显示。非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。日本东丽toray氧气表MS-500
MS-500设备规格测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
形状 | 分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式) | ||
显示方式 | 4位数字显示(密度显示) | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压 | ||
重复性 | 在±0.5%FS 0-1%范围内或以上 | ||
测量点数 | 1-8 | ||
样气条件 | 压力 | 10 -3至200 KPa(压力) | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量) | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪输出 | 仅变速箱输出 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 没有 | ||
热身时间 | 6分钟以内 | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起) | |
MS-510(转换器) | 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起) | ||
传感器单元 | SD16NW | 总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51) | |
SD25NW | 总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49) | ||
大众 | MS-500(控制器) | 约0.6Kg | |
MS-510(转换器) | 约0.5kg | ||
传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
SD25NW | 约0.2Kg | ||
SD40NW | 约0.35Kg | ||
外部连接 | 真空法兰之一(NW16、25、40) | ||
使用电源 | 24VDC±10% |