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无尘室设备移位
无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别,一般分为十级、百级、千级、万级、十万级
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
无尘车间一般照明灯具的选型及布置为了做好高洁净等级的洁净室的照明设计,首先介绍一下无尘车间洁净度等级和洁净空气气流流型。新的《无尘车间设计规范》中,对空气洁净度等级的规定作了较多的修改,GBJ73-84中规定空气洁净度分为4个等级,即100级、1000级、10000级、100000级,随着微电子、集成电路工业的高速发展,无尘车间对空气洁净度的要求越来越高,要求控制尘粒的粒径到0.1µm以下,为了与国际接轨,新规范等同采用*** ISO14644-1中的有关规定,空气洁净度等级从4个等级增加为9个等级,即1级、2级。。。。。。9级。
规范中对洁净空气所流流型的选择也作了明确的规定“对于空气洁净度等级要求1~4级时,应采用垂直单向流;空气洁净度等级要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流;6~9级时,宜采用非单向流”。所谓气流流型就是对洁净室内空气的流动形态和分布进行合理的设计。其特点:应考虑避免或减少涡流,有利于迅速有效地排除污染物,应尽量限制和减少室内污染源散发的尘和菌的扩散,维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。
无尘洁净室的特殊性 由于洁净室的特殊性,一般照明灯具的选型应选用外型表面光滑,凹凸面少不家积灰,容易清扫且用不宜产生静电材料制成的灯具。在满足照度要求外,灯具的选型和布置主要还应根据室内气流流型来考虑,当顶棚为垂直单向流送风口时,如:超大规模集成电路厂的光刻车间。。。。。。, 其过滤器送风口的面积有时可达顶棚面积的80%左右,这样就给灯具的布置带来了困难,此时宜选用泪珠式荧光灯,这种灯具对气流影响较少上,可安装在过滤器***铝型材框架下侧,既不妨碍送风又有效的利用了仅有的顶棚空间,根据顶棚模数不同,可以选择灯具的不同长度。