VSH系列超高真空真空计1000到5e-10 mbar的特点是典型应用:
·分析仪器
·涂料厂和气相沉积
·溅射厂
·测量和控制超高真空
·真空炉
·过程控制
·空间模拟
优点:
·传感器测量范围广Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自动控制热阴极传感器
·Pirani传感器可以保证热阴极在低压时的正常操作,延长使用寿命
·高精度和良好的重复性
·真空过程中热和电的干扰小
·测量单元体积小,例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防风、涂钇双纤
·空气入侵不影响测量
·LED显示仪器状态和开关点
·传感器可更换
·Pirani和热阴级传感器的不同气体的校正因子可以校准压力读数
·可以连接Thyracont公司生产的2通道或4通道的显示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模拟输出信号1.219-8.6V或EtherCAT
·通过按键或接口调整零点和大气压
·LCD显示(VSH88DL、VSH89DL)
·如果出现错误,屏幕闪烁红色,正常工作状态是绿色(VSH88DL,VSH89DL)
·和PLC连接方便
·数据可以远程传输(远距离500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金属外壳,结实耐用
·通过不锈钢小法兰DN 40 ISO-KF或conflat法兰DN 40 CF-F真空连接,请选购VSH系列超高真空真空计1000到5e-10 mbar