XAD系列荧光光谱仪是一款全元素上照式光谱仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及多元素成分分析，*的算法及解谱技术解决了诸多业界难题。
荧光光谱仪性能优势：
1. 微小样品检测：小测量面积0.0085mm²
2. 变焦装置算法：可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-90mm
3. 核心EFP算法：Al(13)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂镀层检测，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精测量
4. *的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限
5. 高性能探测器：SDD硅漂移窗口面积50mm²探测器
6. X射线装置：微焦加强型射线管搭配聚焦装置
7. 上照式设计：实现对超大样品或者密集点位进行快、准、稳高效率测量
8. 大行程移动平台：手动XY滑台100*150mm，自动XY平台210*260mm
应用领域：
涂镀层分析-RoHS检测-地矿全元素分析-合金、贵金属检测
一六仪器研制的测厚仪独特的光路交换装置，让X射线和可见光摄像同一垂直线，达到视觉与测试定位一体，且X光扩散度小；与EFP软件配合达到对焦、变焦双焦功能，实现高低、凹凸不平各种形状样品的测试；高集成的光路交换装置与接收器的角度可缩小一倍，可以减少弧度倾斜放样带来的误差，同时特征X射线可以穿透测试更厚的表层。