工作原理
（1）等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，采用脉冲高频高压电源，利用双介质齿板放电装置，以放电形式产生等离子体；等离子体能够在毫秒级的时间内，对废气和空气分子键进行轰击断裂，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应；活性自由基和臭氧可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将废气分子异味气体进行分解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的电子和离子的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理。
（2）放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。等离子废气处理设备降解污染物是利用这些高能电子、高能离子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
（3）基本过程：
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：o原子或臭氧的氧化o2+e→2o
过程三：oh自由基的氧化h2o+e→oh+h、h2o+o→2oh、h+o2→oh+o
过程四：分子碎片+氧气的反应
技术特点
1、净化效率高，运行稳定。
2、结构紧凑、设计新颖、体积小、重量轻、运输方便。
3、噪声≤45db（a），设备风阻≤100pa。
4、运行成本低、能耗低。
5、紫外光氧化分解＋碳化技术．
6、安装及操作方便．
7、清洗及维护方便，使用寿命长。
应用范围
（1）等离子体产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分有毒有害物质均能被分解，且处理对象广泛，对vocs有机废气、非甲烷总烃、以及《国家恶臭污染控制标准》中规定的八大恶臭物质（氨、硫化氢、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、苯乙烯）均能有效去除 。
（2）等离子废气处理设备对含甲烷、二甲苯、硝基等高浓度易燃易爆挥发性污染物的废气禁止使用（比如燃料废气、硝药废气、炼油化工废气、油漆厂废气、化肥厂废气、汽油酒精废气、沼气废气等等）。