低温等离子除臭设备是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。1980年代，日本东京大学S．Masuda教授提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的zui简单、zui有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。
等离子化学反应过程中，等离子传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：(1)电场＋电子→高能电子(2)高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热(4)活性基团＋活性基团→生成物+热。
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
2.技术特点Ø 工艺简洁：低温等离子体设备，操作简单，方便，无需专人看管，遇故障自动停机报警。
Ø 节能：低温等离子体处理烟气能耗低，运行费用低廉，2～5瓦时/米。
Ø 适应范围广：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转,特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
Ø 设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，石英、钼等材料组成，抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。
Ø 组合性强：低温等离子体处理设备可以窜并联混合应用。6、500～2000米3/时为一个温等离子体处理装置单元，一个单元用一个脉冲电源激励。
3.适用范围低温等离子体技术在环境工程中的应用：低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生*的危害；另外工业烟气的无控制排放使性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。