RTO原理是将有机废气（VOCs）加热到760℃以上，使废气中的VOCs氧化分解成CO2和H2O，氧化产生的高温气体采用蜂窝陶瓷蓄热体进行能量储存，并用来预热后续进入的有机废气，当废气中VOCs浓度到达一定值时，系统可不消耗额外燃料而维持反应的自平衡。
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在另一端，他们放了一个LED电视以收看接收到的电视频道。同如今广泛使用的光纤电缆、路由器和交换机系统相比，Kavehrad教授的方法可以提供同等、甚至更好的带宽和吞吐量(取决于数据中心有多少数据链路)。他说，得益于激光器和光电探测器的发展，这种红外信号传输系统可以轻松处理数万亿字节的数据。据统计，美国数据中心的用电量占到了全国总用电的2%左右，其中大部分电力用于冷却约40万台服务器。但在任意时间点都有大约30%的服务器处于闲置状态，这意味着大量的能源都用于冷却闲置的服务器。
具有运行能耗低、适用范围广、净化效率高（≥98%）等优点，根据具体情况，可采用3室RTO、5室RTO及旋转RTO，常运用于石化、印刷、印铁、制罐、化工、制药、喷涂、电子半导体等行业。
沸石转轮浓缩+RTO工艺
Rotary Concentration & RTO Technology
采用沸石转轮（如：Munters、SEIBU GIKEN、NICHIAS、TOYOBO、Napotec等）将较中低浓度、中大风量的VOCs废气浓缩成较小风量、高浓度的废气，然后引入RTO进行高温氧化，氧化后产生的一部分能量用于再生沸石转轮，另一部分用于维持RTO反应的自平衡。
该工艺适用于有机废气浓度较低但排放要求较高的场合，具有处理效率高（综合效率≥95%）、运行能耗低等特点，常用于涂布、印刷、电子、涂装等行业。
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不过，格芯所涉及的金额又提升了一个数量级。工业时代的基石是钢铁，半导体就是信息时代的基石。而长期以来流行一种说法：我国超过60%的半导体设备依赖进口，甚至超过了对石油的依赖，而包括芯片产业在内，我国信息领域部分基础产业还相对弱小，不足以更好地支撑信息经济可持续运作，斯诺登事件以后，隐藏的国家信息安全潜在隐患则更加凸显。中国半导体产业新合作模式在碰撞中逐步确立出台《国家集成电路产业发展促进纲要》、设立首期1200亿元的大基金，都显示了中国对于促进集成电路发展的国家意志。