光催化废气处理除臭设备UV＋O2→O-+O+（游离氧）O+O2→O3（臭氧）*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对臭气及其它刺激性异味有*的清除效果。3）恶臭气体利用排风设备输入到光解氧化净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应。 4）利用高能紫外光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，可*达到脱臭及杀灭细菌的目的。高分子污染物质分子键，经过高能紫外线光能的裂解及臭氧的氧化聚合作用，转变聚合成低分子无害或低害物质如H2O，CO2等。 臭氧产生的分子式：UVD→O2=O-+O+=O2+O- /O2+O+→O3 污染物质分子裂解转化的过程为： UVD→H2S=H++H-+S→H++ H-+O3/S+O3→ H2O＋SO42-UVD→CS2= C+ S-+S+→C+O3/S-+S++O3→CO2＋SO42-
光催化废气处理除臭设备利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体和TiO2光催化，催化裂解恶臭气体如：氮、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
TiO2光催化的催化化性在很大程度上影响光催光反应速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒径的影响。锐钛型TiO2的催化活性高。随着粒径的减少，电子与空穴简单复合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔径、粒子表面状态，纯度等对其光催化活性也均有一定影响。为了提高光降解效率，对TiO2光催化剂进化改性，如研制纳米TiO2，制备TiO2的复合半导体，金属离子掺杂、染料光敏化等。也可以采用各种*的手段制备TiO2催化剂，以提高光催化剂的活性。