电子工业中的VOCs种类常见的有30多种，主要来自半导体器件、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用溶剂型涂料、清洗工艺(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、电路板清洗、电子组件清洗等)使用有机脱脂剂、脱水剂，感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂，去光刻胶类化合物如陕西电子加工废气处理设备参数DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA则属于高沸点的硫类和胺类之有机溶剂。
针对电子行业VOCs排放特点采用相应末端治理技术，主要还是吸附法、焚烧法，吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率可达到90%以上。陕西电子加工废气处理设备参数
沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮，废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区，使VOCs得到浓缩，再经脱附燃烧处理，去除效率可在98%。
对于半导体、TFT—LCD和LED、PCB等企业，有机废气一般还含有酸性气体、碱性气体和一些气体，治理技术一般采用组合方式，前端通过喷淋塔淋洗，后接沸石浓缩转轮+焚烧方法，对电子终端产品企业，多采用活性炭吸附，进行“三防”喷涂需增加除漆雾装置(水帘或高密度纤维过滤)。
