适应工件：2~8寸晶圆片清洗
批量产能：8寸25PCS/批
工艺流程：Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀
工艺槽功能：循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升
主要材料：金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用PPN/PVDF材质
运送方式：手动传送
节拍时间：5-15min可调
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晶圆清洗机，刻蚀设备
详细信息 适应工件：2~8寸晶圆片清洗 批量产能：8寸25PCS/批 工艺流程：Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀 工艺槽功能：循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升 主要材料：金属骨架+PVC/PPW壳板，槽体采用PPN/PVDF材质 运送方式：手动传送 节拍时间：5-15min可调 |
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