苏州晶淼半导体设备有限公司

LED芯片清洗机
1.清洗对象：LED芯片，LED晶片
2.清洗规格：2-4英寸   4-2篮/批； 6-8英寸   2-1篮/批
3.工艺说明:手动方式实现放件取件，槽体间传送件。
4.设备形式: 室内放置型。
5.腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；
6.工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；
7.机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。
8.DI槽配有在线式水质检测装置；
9.配有分体式废液回收系统；
10.药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统