产品特点
提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境 此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。 产品性能 1、炉膛采用多晶莫来纤维真空吸附制成，温场均匀节能50%以上 2、空气导流隔热技术保证箱内各部件的使用寿命及恒温效果 3、启动电炉，排温风机同时自动运行，试验结束后，排温风机将继续运行，直至炉体温度低于60℃，排温风机自行停止，有效保护了炉体表面 4、自动断电、超温保护功能、漏电保护功能，以确保使用的安全性 5、电路采用连续加热输出方式，双回路供电，强弱电单独走线提高了系统的稳定性 6、加热模块采用直流信号调节输出功率，避免了感应电对控制信号的干扰 7、自动补偿由于温度或老化对硅碳棒阻值变化带来的控温影响，避免人为调节的不准确性和危险性 8、采用数显流量显示仪，配合质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，重复性好，相应速度快，稳定可靠等特点。（气体质量流量控制系统） 9、自动控制与手动控制切换功能，自动控制模式能通过设定值自动开启关闭真空泵，使容器内保持在一定的真空压力范围内。手动控制模式使用用户通过真空泵开启关闭按钮直接操作真空泵。以满足不同实验的需要。（中真空控制系统） 10电磁阀缓启动技术，使电磁阀在真空泵开启10秒钟后打开，使炉管内系统压力保持准确，也保证了废气不会返回到炉管系统影响实验效果（中真空控制系统） 安全性 1、过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。 2、采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。 3、采用混气罐装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄露。
产品参数
| 型号 | 单温区 | CVD-TF14P40 | CVD-TF14P50 | CVD-TF14P60 | CVD-TF14P80 | ||||||||
| 单温区 | CVD-TF14T40 | CVD-TF14T50 | CVD-TF14T60 | CVD-TF14T80 | |||||||||
| 性能 | 使用温度范围 | 300~1400℃ | |||||||||||
| 温度分辨率 | 1℃ | ||||||||||||
| 控温精度 | ± 1℃ | ||||||||||||
| 升温速率 | 0~20℃/min | ||||||||||||
| 加热区长度 | 200mm | 400mm | |||||||||||
| 恒温区长度 | 70mm | 140mm | |||||||||||
| 真空度 | -0.1MPa | ||||||||||||
| 空炉升温时间 | ≤15min | ||||||||||||
| 配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min | ||||||||||||
| 构成 | 外装 | 冷轧钢板，表面耐药品性涂装 | |||||||||||
| 炉膛体 | 多晶莫来石纤维 | ||||||||||||
| 炉膛尺寸 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | |||||||||||
| 炉管 | 刚玉管 | ||||||||||||
| 炉管尺寸 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 | |||||||||
| 加热器 | 硅碳棒 | ||||||||||||
| 加热功率 | 3KW | 5KW | |||||||||||
| 断热层 | 双层强制风导流 | ||||||||||||
| 打开方式 | 无 | ||||||||||||
| 控制 器 | 控制器 | P：进口程序控温数码显示； T：7寸彩色触摸屏程序控温 | |||||||||||
| 控制方式 | 使用微型电脑PID控制 | ||||||||||||
| 设定方式 | P：轻触五按键动作、数显设定； T：手指触摸轻点设定 | ||||||||||||
| 显示方式 | P：双行LED数字显示； T：彩色液晶屏显示 | ||||||||||||
| 定时 | 0~999.9小时 | ||||||||||||
| 运行功能 | 定值运行、程序运行 | ||||||||||||
| 程序模式 | P：程序运行、4条曲线、共40步； T：50步 可调用储存程序 | ||||||||||||
| 传感器 | S型热电偶 | ||||||||||||
| 附属功能 | P：校正功能； T：校正功能、实时曲线记录、U盘数据导出 | ||||||||||||
| 安全装置 | 过流漏电保护开关 | ||||||||||||
| 质量流量控制系统 | 气路数量 | 3路（可根据具体需要选配气路数量） | |||||||||||
| 流量范围 | 0-0500sccm（标准毫升/分，可选配）氮气标准 | ||||||||||||
| 精度 | ±1%F.S | ||||||||||||
| 响应时间 | ≤4s | ||||||||||||
| 工作温度（流量计） | 5-45℃ | ||||||||||||
| 工作压力 | 进气压力0.05-0.3MPa（表压力） | ||||||||||||
| 系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | ||||||||||||
| 中真空控制系统 | 系统真空范围 | 10-100Pa | |||||||||||
| 真空泵 | 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa，抽气速率4L/s，出气口配有油污过滤器，额定电压200V，功率0.55Kw | ||||||||||||
| CVD系统配置 | 1400度真空管式炉多路质量流量控制系统真空系统 | ||||||||||||