FWS-1000等离子体光谱仪技术指标
射频发生器
1. 电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制。
2. 工作频率：40MHz±0.05％
3. 频率稳定性：＜0.1%
4. 输出功率：800W—1200W
5. 输出功率稳定性：＜0.3%
6. 电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜2V/m
进样装置
输出工作线圈内径25mm，3匝
矩管：三同心型，外径20mm的石英矩管
同轴型喷雾器外径6mm
双筒形雾室外径34mm
氩气流量计规格和载气压力表规格：
等离子气流量计（100-1000）L/h （1.6-16L/min）
辅助气流量计（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
载气流量计（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
载气稳压阀（0-0.4MPa）
冷却水：水温：15-25℃ 流量>5L/min
水压>0.1MPa 冷却水：电阻率>1MΩ
分光器
1． 光路： Czerny-Turner mounting
2． 焦距： 1000 mm
3． 光栅规格： 离子刻蚀全息光栅，
刻线密度3600线/mm，
刻线面积（80×110） mm
（可选用刻线密度2400线/mm，刻线面积：80×110mm
4． 线色散率倒数：0.26nm/mm
5．分辨率： ≤ 0.008nm
6. 扫描波长范围：
3600线/mm扫描波长范围：195—500 nm
2400线/mm扫描波长范围：195—800 nm
7． 步进电机驱动小步距: 0.0006 nm
8． 出射、入射狭缝：20μm
9. 反射镜规格： （78×105×16）mm
10． 透镜φ30，1：1成像
11． 分光器恒温装置：32℃±1℃
光电转换装置
1. 光电倍增管规格：R212UH或R928
2. 光电倍增管负高压：200-1000V 稳定性<0.05％
3. 光电倍增管电流测量范围：1nA~100μA
4. 信号采集为v/F交换：1mV对应100Hz