实时终点检测和检漏
INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以*大限度地减少报废,提高产出。
功能
方便的现场可更换等离子单元使用标准 KF25 连接方便地安装更低的维护成本低至 ppm 级的出色检测下限工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr*可靠性:无需泵低拥有成本快速的 10 Hz 采样频率精致小巧(高 x 宽 x 长)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持我们致力于*真空技术的推广、应用,从中低真空、高真空、到超高真空,我们可以根据客户的要求**合适的真空产品,提供*上等的真空解决方案,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术和支持。