XPR3L 气体分析仪用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于*大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。
XPR3L 气体分析仪功能通过运行高达 10mTorr（可选 20mTorr）的 UHV，提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证经济高效的过程监控器，可用于可扩展的生产设计通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质，提高过程良率，减少碎片，提高产品质量通过以高灵敏度和*小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染，加快 PM 恢复，提高生产力可在 1 - 100 amu 质量范围内运行，能够检测各种材料、污染或副产品，确保您的投资安全，降低投资风险与 FabGuard 监控和分析系统相兼容，提供可靠、*的诊断和过程控制典型应用太阳能/光伏设备制造LCD 制造PVD 过程监控监控过程气体压力和气体比率暴露和鉴别污染检测和查找泄漏（空气、氦气、水及其他蒸汽）PM 恢复/故障排除和验证基本真空