灵敏度: 0.1 - 5.0 µm
HPGP-101-C高压气体探头
高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。HPGP与粒子数据系统、以太网(pds-e)配对，收集并报告由探测器捕获的数据。
特点安全保护壳氧气与氢气兼容性 0.1SCFM下，灵敏度为0.1μm8个粒子通道管道压力从40到150psig
被动式激光源并行处理阵列检测器系统优点核实粒子质量检测工艺异常量化系统更改的影响提供精确粒径使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报被动式激光源设计只需极少的维护净化的惰性气体确保安全样本气体一旦泄漏，容器立刻终止电源应用气体分布系统的资格确认工艺气体监测活性气体监测
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