痕量低浓度氮氧化物分析仪它与传统红外光谱吸收技术的不同之处在于，半导体激光光谱宽度远小于气体吸收谱线的展宽。因此，DLAS技术是一种高分辨率的光谱吸收技术，半导体激光穿过被测气体的光强衰减可用朗伯-比尔（Lambert-Beer）定律表述式得出，关系式表明气体浓度越高，对光的衰减也越大。因此，可通过测量气体对激光的衰减来测量气体的浓度。
痕量低浓度氮氧化物分析仪多应用于存在化学反应的生产过程，例如氨气合成流程中，在使用温度仪表和压力仪表控制反应环境以外，还需要使用气体分析仪表来分析进气的化学成分，控制氢气和氨气之间的合理比例，这样才能大限度的提高氨气合成率，而获得较高的生产效率。在锅炉燃烧控制中也起到了非常重要的作用。
单光路：从光源发出单束红外光，利用切光装置将红外光调制成不同波长的光束，轮流通过分析气室进入检测器。
质谱分析法是利用不同离子在电场或者磁场中运动轨迹的不同，把离子按质荷比分离而得到质量图谱，可以得到样品的定性定量结果。质谱仪按照常用的质量分离器不同可分为扫描磁扇式磁场质谱仪和四极质谱仪，飞行时间质谱仪等几种类型。目前工业应用上通常采用的是扫描磁扇式质谱仪。四极质谱仪的灵敏度高，适合实验室或科学研究。扫描磁扇式的稳定性和重复性较高，适合工业应用。
不仅在一台气体分析仪器内部具备一套化工工艺过程的同样情况和条件，而且，有时在仪器前级的样气预处理部分（含取样系统）也同样是一套化工工艺过程。如遇到较复杂、较特殊的工艺技术条件的话，那么样气预处理系统所体现的化工过程还是非常复杂的，相当于一个小化工厂的净化处理工艺过程。由此可见，气体分析的过程就是在了解并掌握整个化工过程系统条件的前提下，严格控制各种影响测定条件的因素，从而得到工艺及管理人员所需要的准确数据。
在仪器应用的过程中，影响因素种类较多且变化较复杂，而要想有效地控制这些影响因素及排除干扰测定的因素则困难比较大。例如微量氧的测定，不但要严格控制系统材质和密封，而且系统的洁净等诸多因素也必须逐一解决好，否则，氧成分分析不会得到准确的测定结果。而对于气体中微量水含量的测定，除了考虑以上提到的各种影响因素外，还必须考虑到样气中的水在管道内的吸附平衡问题，而这一问题的妥善处理必须依靠反复试验，了解其变化情况和规律，掌握其中的操作技术，以便得到准确无误的结果。