痕量低浓度氮氧化物分析仪DLAS技术本质上是一种光谱吸收技术，通过分析激光被气体的选择性吸收来获得气体的浓度。它与传统红外光谱吸收技术的不同之处在于，半导体激光光谱宽度远小于气体吸收谱线的展宽。因此，DLAS技术是一种高分辨率的光谱吸收技术，半导体激光穿过被测气体的光强衰减可用朗伯-比尔（Lambert-Beer）定律表述式得出，关系式表明气体浓度越高，对光的衰减也越大。因此，可通过测量气体对激光的衰减来测量气体的浓度。
痕量低浓度氮氧化物分析仪质谱分析法是利用不同离子在电场或者磁场中运动轨迹的不同，把离子按质荷比分离而得到质量图谱，可以得到样品的定性定量结果。质谱仪按照常用的质量分离器不同可分为扫描磁扇式磁场质谱仪和四极质谱仪，飞行时间质谱仪等几种类型。目前工业应用上通常采用的是扫描磁扇式质谱仪。四极质谱仪的灵敏度高，适合实验室或科学研究。扫描磁扇式的稳定性和重复性较高，适合工业应用。
多应用于存在化学反应的生产过程，例如氨气合成流程中，在使用温度仪表和压力仪表控制反应环境以外，还需要使用气体分析仪表来分析进气的化学成分，控制氢气和氨气之间的合理比例，这样才能大限度的提高氨气合成率，而获得较高的生产效率。在锅炉燃烧控制中也起到了非常重要的作用。气体分析仪多应用于锅炉燃烧时的燃料供给控制，帮助操作人员调节燃料与助燃剂之间的比例成分。气体分析仪在锅炉燃烧中还起到了烟道化学成分分析的作用，据此操作人员可以恰当调整助燃空气的供给量; 在工厂废气排放方面，特别是有毒有害气体排放上，也起到了非常重要的作用。气体分析仪的作用是对有毒有害气体进行连续的监控，防止有毒有害气体的浓度过高，威胁到工作人员的安全，或引起爆炸等恶性事故。
一台气体分析仪或一套气体分析系统相当于一套完整的化工工艺设备，因此，气体分析仪器系统工作过程就是在实现一系列的化工过程。若想通过气体分析得到准确数据，就必须了解这一系列化工过程中各阶段的情况及变化，认真研究并掌握其中的规律，只有这样才能达到准确测定的目的。应当指出，不仅在一台气体分析仪器内部具备一套化工工艺过程的同样情况和条件，而且，有时在仪器前级的样气预处理部分（含取样系统）也同样是一套化工工艺过程。