MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界*的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在可让您的洁净室保持洁净0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染热插拔电池-*确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
部件编号 | 2089310-03 (2 通道) |
颗粒粒径范围 | 0.5um - 5um 按ISO 14644-1 (FS 209E) 工业标准 |
通道个数 | 2 |
重量 | 非常轻便,仅有1.5lbs,适用于舒适的手持式应用 |
流速 | 2.83 lpm.遵循 ISO 14644-1 5级规范,1分钟采集 0.3um 样品 |
支持USB接口 | 通过USB数据线或U盘可以直接通过计算机获取颗粒计数数据。无需设备驱动或软件 |
以太网支持 | 通过常见网络浏览器,如Windows IE,Safari和Firefox访问颗粒数据 |
显示 | 3.5英寸高分辨率的大屏幕,320*240色,可以清晰地查看直观的图标,从而方便导航 |
显示配置 | 超大字体显示,用户可选择通道的尺寸 |
显示数据模式 | 传统的表格式颗粒计数或趋势图,便于对颗粒计数值进行存档 |
机箱材质 | 高强度的聚碳酸酯ABS材质,非常耐用 |
尺寸 | 10.7" x 3.9" x 2.1",波状形状,便于进行单手操作 |
电池的使用寿命 | 典型的型号,通常会超过10小时,短连续运行5.5小时 |
数据存储 | 以存储10,000个记录以满足大多数应用场合 |
计数效率 | 在0.5μm时为50%;当颗粒物大于0.75μm时,为*(根据ISO21501) |
零计数等级 | 1个/ 5分钟(根据JIS B9921) |
浓度限值 | 符合损失为10%时,为4,000,000/ft3(符合ISO21501) |
计数模式 | 原始计数值,N/ft3,N/m3,N/L,累计模式或差分模式 |
安全性 | 管理员密码控制(可选) |
UI 语言 | 英语和日语 |
警报 | 用户自定义:计数 |
电池充电 | 3.5 小时 |
运行环境 | 50℉~104℉(10℃~40℃)/zui高可达95%,无冷凝 |
存储环境 | 14°F~122°F(-10°C~50°C)/zui高可达98%,无冷凝 |
部件编号 | 描述 |
230-300-1000 | 12 VDC 电源/ 充电器 |
VP212808 | 零计数过滤器 |
2089398 | 零计数过滤器适配器 |
460-400-0002 | 6英尺USB线缆 |
DOC026.97.80271 | 用户手册 |
部件编号 | 描述 |
460-400-0005 | 以太网电缆 |
2089380-01 | 基座,用于HHPC+ 系列充电和通讯 |
2080732-15 | 高压扩散器 0.1 CFM 与 HHPC+ 适配器 |
2089328-01 | 便携式仪器箱 |