Dffoz高浓度水中臭氧分析仪采用新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。
Dffoz采用新的水中臭氧传感器技术,设计用来检测半导体湿法处理和其他工业领域高浓度水中臭氧检测。它可以为去离子水提供持续的臭氧测量,浓度高达150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已经完成”预备清洁”,可以应用于高纯度的半导体过程,在线安装,流量高达150SLPM。
Dffoz传感器结合料IN USA公司创新的双路取样传感技术(获得),达到了的性能和消除对参比气测量的需要。
Dffoz典型安装包括一个Dffoz传感器和一个控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通过7层Teflon线缆连接。
高浓度水中臭氧分析仪技术规格
传感器：Dffoz-D
◆ 制造商: IN USA INC(美国)
◆ 应用 ：高浓度水中臭氧连续测量
◆ 测量原理 ：紫外吸收技术,双光路取样测量技术
◆ 紫外线光源：低压汞灯
◆ 测量单位 ：PPBw，mg/L
◆ 量程 ： 可达到150mg/L
◆ 精度：0.5mg/L或读数1%（取大者）
◆ 流量：高达150SLPM
◆ 压力：55PSI
◆ 接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）
◆ 外壳：FRPP
◆ 焊接材料：PFA，Teflon，蓝宝石，满足半导体制程序要
◆ 尺寸：138 X 171 X 82mm
控制器：MiniSCI-N
◆ 20位背光LCD
◆ 分辨率：0.1mg/L或0.1ppm
◆ 循环时间：每隔0.5秒持续测量
◆ 模拟输出：4-20mA或0-10VDC
◆ 数字 I/0：RS-232C
◆ 诊断：内部诊断，报警提示
◆ 远程自动校零：标准远程自动校零功能
◆ 供电：90-240VAC 50/60Hz
◆ 尺寸：143X 71X 241mm
◆ 认证：CE
