臭氧可使大多数有机色素褪色。可缓慢侵蚀橡胶、软木，使有机不饱和化合物被氧化。常用于：饮料的消毒和杀菌，空气净化、漂白、水处理及饮水消毒、粮仓杀灭霉菌及虫卵；与有机不饱和物反应，可生成臭氧化物，这些臭氧化物在水的存在下可分解，原来的不饱和键开链，生成醛、酮和羧酸等。由于产生臭氧分解，故可用作合成手段及确定有机物结构。
CAT系列臭氧尾气处理器催化剂参与反应但并不被消耗掉，它使反应速度加快。催化剂能提高效率是因为它可以反应所需要的激活能量，这种激活能量就是把臭氧原子带到反应区重组成氧原子所需要的能量。IN USA公司采用以MnO2为基础的化合物作为催化剂来实现这一功能，被催化的气体在固体表面实现重组。催化反应的效率跟温度，湿度等有关，也容易被一些化学物质干扰，产生中毒现象，从而降低了催化反应效率。有些化学物质，如卤素、碳氢化合物、硫、磷、NOx会被催化剂吸附造成不可逆转的反应从而使催化剂中毒，降低反应效率，减少使用寿命，所以在使用臭氧尾气处理装置前，确保这些物质已经被去除。
CAT系列臭氧尾气处理器预加热到100℃以上可以阻止NH3和水汽对设备造成的影响，可以获得额外的效果。水汽容易附着在催化剂表面从而降低使用效率，因为水汽附着在催化剂上容易使催化剂”蛋糕化”，造成*性流量阻塞，如果出现这种情况，就不得不进行再生。