技术参数：
射频发生器技术指标：
1. 电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制。
2. 工作频率：40MHz±0.05％
3. 频率稳定性：＜0.1%
4. 输出功率：800W—1200W
5. 输出功率稳定性：＜0.3%
6. 电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜2V/m
高频箱
本装置采用电感反馈自激式振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，采用功率反馈进行闭环自动控制（获得国家发明），
使等离子体火焰极为稳定，该发生器可使用工业氩气工作哦，不但点燃ICP火焰容易，同时还节省采用高纯氩气的昂贵费用。
匹配箱
由真空陶瓷可调电容及空气可调电容等组成的性能优良的匹配箱，使之达到的匹配状态，在负载线圈上获得zui大的有效输出功率。
定向耦合器
功率控制是采用从定向耦合器取出功率信号经检波放大后，控制振荡电子管的阳极电压，达到功率输出稳定的目的。
进样装置技术指标：
输出工作线圈内径25mm，3匝
矩管：三同心型，外径20mm的石英矩管
同轴型喷雾器外径6mm
双筒形雾室外径34mm
氩气流量计规格和载气压力表规格：
①. 等离子气流量计（100-1000）L/h (1.6-16L/min)
②. 辅助气流量计（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)
③. 载气流量计（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)
④. 载气稳压阀（0-0.4MPa）
⑤. 冷却水：水温：15-25℃ 流量>5L/min 水压>0.1MPa 电阻率>1MΩ
分光器技术指标
1． 光路： Czerny-Turner
2． 焦距： 1000 mm
3． 光栅规格： 离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，刻线面积（80×110） mm
(可选用刻线密度2400线/mm，刻线面积：80×110mm
4． 线色散率倒数：0.26nm/mm
5．分辨率： ≤ 0.008nm
6. 扫描波长范围：
3600线/mm扫描波长范围：195—500 nm
2400线/mm扫描波长范围：195—800 nm
7． 步进电机驱动zui小步距: 0.0006 nm
8． 出射、入射狭缝：20μm
9. 反射镜规格： （78×105×16）mm
10． 透镜φ30，1：1成像
11． 分光器恒温装置：32℃±1℃
主要特点：
多元素同时测定
检出限低：可以达到0.1－10ppb，甚至更低
分析的浓度动态线性范围宽，可达5－6个数量级
化学干扰少，准确高， RSD≤2％
分析速度快，分析成本低