当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含*化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，然后转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
废气等离子光催化处理设备优点：
①能耗低，可在室温下与催化剂反应，无需加热，极大地节约了能源；
②使用便利，设计时可以根据风量变化以及现场条件进行调节；
③不产生副产物，催化剂可选择性地降解等离子体反应中所产生的副产物；
④不产生放射物；
⑤尤其适于处理有气味及低浓度大风量的气体。
废气等离子光催化处理设备该设备适用范围广泛，可用于石油化工、制药行业、饲料和肥料加工厂、畜牧产品农场、化纤厂、皮革厂、制浆厂、污水泵站、各类污水处理厂、涂料、食品填加剂厂、皮革加工、感光材料、汽车制造以及公厕、粪便转运站等诸多行业存在的有机废气、异味、恶臭等污染问题。既可应用于工业废气的治理，也可应用于室内空气净化等，是一项用途极为广泛的新型空气环境洁净技术和产品
