最近的研究表明，短波紫外线（200 纳米以下）分解水中有机分子的效率很高，特别是低分子量的污染物。200nm 以下波长的紫外线通过两种方式降解TOC：
一种方法是通过直接的光解作用，即由紫外线能量破坏有机物内的化学键；第二种方法是通过光解水分子，产生带电荷的 OH- 自由基，由这些自由基来攻击有机化合物。
紫外线通过打断微生物脱氧（DNA）的腺嘌呤和硫胺分子，使其无法继续繁殖。微生物因而可在不使用化学药物的情况下被杀死。尽管254纳米是有效消毒波长，但脱氧能最有效地吸收的波长为265纳米的紫外线。了解这些不同波长紫外线杀菌能力差异是设计具有杀菌效果好、效率高的紫外线消毒设备的基础。