洁净室是各个高精尖科技领域发展所必需的环境,而多点测量系统又是当前洁净室检测方法中的方法,没有它就没有洁净室。因此发展基于多点测量系统的洁净室是我们发展高精尖科技产业所必须的有力保障。同时多点测量系统本身也有着广泛的应用场合和广阔的市场前景,因此研发此系统有着重要的意义。 本文以尘埃粒子计数器的设计为主线,论述的主要内容如下: 1、介绍了尘埃粒子计数器的使用环境,尘埃粒子计数器在洁净室中的重要作用。 2、详细介绍了尘埃粒子计数器实现的光学原理,以及选择计数器中主要的光学元器件的方法。 3、详细设计了尘埃粒子计数器的硬件电路实现方式,以及为其定制的前置放大电路,数据采集电路。 4、编写了尘埃粒子计数器的软件程序,并对软件系统进行了详尽的说明和分析。 5、对于系统中多点测量的详细介绍,并用实际的测量数据来检验多点测量尘埃粒子计数系统的准确性。
