| 名称（Name） | 真空式等离子处理系统 |
| 型号（Model） | CRF-VPO-8L-S |
| 控制系统（Control system） | PLC+触摸屏 |
| 电源（Power supply） | 380V/AC,50/60Hz,3kw |
| 中频电源功率（MF Power） | 600W/13.56MHz |
| 容量（Volume） | 80L（Option） |
| 层数（Electrode of plies） | 8（Option） |
| 有效处理面积（Area） | 400（L）*300（W）（Option） |
| 气体通道（Gas） | 两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2 |
超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。
保养维修成本低，便于客户成本控制。
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。