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超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm极限值。超纯水是一般工艺很难达到的程度，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm。
水质标准:
出水水质:电阻率>15MΩ.cm
行业标准:超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
工作原理:
1、水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。
2、树脂截留水中的溶存离子。
3、被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。
4、阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。
5、阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。
6、浓缩了的离子从废水流路中排出。
7、去离子水从树脂 / 膜内流出。