CRBR型外延炉尾气净化器是在引进美国先进技术以及结合十几年的设计生产经验而研发出的新型外延炉尾气净化器，是迄今为止没有比这更高效、更可靠、更低成本的Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气处理设备。

CRBR型外延炉尾气净化器的成功研发，解决了SiO₂粉尘在进气口的堵塞问题这一行业难题；由于该产品采用了研制的先进进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘的装置，使得该洗涤器的一次维护时间可长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。